Geregelte Pneumatik von Festo soll Wafer-Fabs Partikel und Stickstoff ersparen
Festo überträgt seine digital geregelte Pneumatik Controlled Pneumatics auf die Halbleiterfertigung: Das Ventil VESC bewegt Wafer-Transferventile weich, die Durchflussregler VEFC und VTEP dosieren Stickstoff für FOUPs nach Sollwert.











