Elektrostatisch geladene Wafer, Folien oder Leiterplatten ziehen Partikel an und können beim Entladen Schaden nehmen. Gegen diese Gefahr setzen Halbleiterhersteller Ionisierer ein, von denen viele mit unterstützender Druckluft arbeiten und damit Energie kosten. Neue Komponenten der SMC Deutschland GmbH aus Egelsbach sollen hier und beim Greifen dünner Teile mit weniger Luft auskommen.
Gezeigt werden die Produkte zur Semicon Europa 2026, die vom 10. bis 13. November parallel zur electronica in München stattfindet. Die Pressemitteilung vom 9. November nennt für mehrere Exponate konkrete Kennwerte.
Ionisierer: kürzere Entladezeit, weniger Spülluft
Neu im Programm sind die Ionisierer IZS51, IZT44/45 und IZSW. Der kompakte IZS51 soll Ladungen in bis zu 0,1 s abbauen und regelt die Ionenbalance automatisch. Ein großes Display zeigt den Zustand an, über eine optionale IO-Link-Schnittstelle lässt sich das Gerät in die Steuerung einbinden. Die Hilfsluft, die den Ionenstrom unterstützt, lässt sich über ein integriertes Ventil im laufenden Betrieb abschalten. Das kann laut SMC den Luftverbrauch reduzieren.
Die Ionisierstäbe IZT44 und IZT45 messen 23 mm in der Höhe und 20 mm in der Breite und sind damit für sehr beengte Einbausituationen gedacht. Weil die Elektroden dichter beieinander sitzen, sinkt die Entladezeit nach Herstellerangaben um rund 60 % gegenüber dem Vorgänger. Für eine wirksame Entladung kommen die Stäbe ohne zusätzliche Druckluft aus. An einen Controller des IZT45 lassen sich bis zu vier Hochspannungsmodule anschließen.
Greifen und Saugen mit weniger Luft
Für Folien, Platinen und andere empfindliche Werkstücke zeigt SMC den Bernoulli-Greifer ZNC. Er hebt Teile berührungsarm an und erreicht eine Hubkraft von höchstens 65 N. Bezogen auf die Hubkraft benötigt er laut SMC bis zu 79 % weniger Luft als das bisherige Modell.
Weitere Vakuumkomponenten am Stand:
- Filter der Serie ZFC
- Sauger ZP2 und ZP3 wahlweise aus NBR oder aus Silikon in leitfähiger bzw. halbleitender Ausführung
- kompakter Vakuumerzeuger ZH
- Ventilinsel JSY1000-E, auf der sich unterschiedliche Ventile kombinieren lassen (Mix-Mounting)
Durchfluss und Druck im Blick
Der Durchflusssensor PFUW wird von außen auf das Rohr gesetzt. Die Leitung muss dafür nicht geöffnet werden, kein Sensorteil berührt das Medium. So entstehen weder neue Leckagestellen noch ein zusätzlicher Druckabfall, und das Medium wird nicht verschmutzt. Mit Messbereichen bis 200 l/min ist er für Kühlwasser- und Versorgungskreise vorgesehen. Von den digitalen Druckschaltern ISE20 und ZSE20 zeigt SMC Versionen mit M12-Stecker; sie haben eine dreizeilige Anzeige, abhängig von der Variante zudem IO-Link und Schutzart IP65. Ergänzend zeigt SMC den Signalgeber D-MH1, der bis zu drei Stellungen eines Greifers oder Aktors mit nur einem Schalter erkennt, sowie das Funksystem EXW1 und den elektrischen Schlittenantrieb EQFSH (bis 68 kg, bis 1.200 mm/s).
Was das für Anwender bedeutet
Druckluft zählt in vielen Fabriken zu den teuersten Energieformen, und Bernoulli-Greifer brauchen prinzipbedingt einen ständigen Luftstrom, solange sie ein Teil halten. Abschaltbare Hilfsluft beim IZS51 und der geringere Luftbedarf des ZNC setzen deshalb an einem relevanten Kostenpunkt an. Welche Hebel es bei Verbrauch und Leckagen sonst gibt, beschreibt unser Grundlagenbeitrag Fluidtechnik: Hydraulik, Pneumatik und Vakuum.
Für Nachrüstungen ist der PFUW interessant, weil er ohne Eingriff in bestehende Kühlwasserleitungen auskommt. Offen lässt die Mitteilung Preise, Liefertermine, den Messestand sowie die zulässigen Rohrdurchmesser und Medien des PFUW. Auch zum Ionisierer IZSW nennt SMC keine Daten. Die Prozentwerte sind Herstellerangaben und beziehen sich auf Vorgängermodelle, die nicht näher benannt werden.
Quelle: Pressemitteilung der SMC Deutschland GmbH vom 09.11.2026 (PresseBox). Bild: SMC Deutschland GmbH.
